| 초록 |
습도센서는 음식, 목재, 날씨, 화학, 반도체 등과 같은 여러 산업의 품질관리뿐만 아니라 생활환경을 모니터링 하는데도 유용하게 쓰인다. 습도센서 개발에서 각 산업의 특정한 요구조건을 충족시키기 위해 민감도, 응답속도, 이력현상, 안정도 그리고 습도 감지 범위와 같은 감지 속성들을 테스트 해야 한다. 현재 상업용 박막 습도센서는 비용 측면에서 효율적인 고분자를 이용하여 만들어진다. 최근 우수한 전기적, 기계적, 화학적 속성을 가진 탄소 기반의 나노 물질이 가스센서 개발 분야에서 많은 주목을 받고 있다. 그 중 산화그래핀(GO)은 습도 측정에서 높은 민감도와 빠른 응답속도를 보인다. 하지만 산화그래핀을 포함한 대부분의 박막 습도센서는 물의 흡착과 탈착 과정 동안에 이력현상이 발생한다. 그러나 현재까지 측정 정확도를 감소시키는 이력현상에 대한 연구가 부족한 실정이다. 따라서 본 연구에서는 산화그래핀을 기반으로 하는 박막 습도센서의 민감도와 흡착/탈착 이력현상 사이의 상관관계를 조사하였다. 이러한 이력현상과 다른 속성들 간의 상관관계에 관한 연구는 산화그래핀과 그 유도체를 기반으로 하는 새로운 습도센서 개발에서 센서 특성을 이해하는데 더 많은 도움을 줄 것이다. |
