| 학회 |
한국재료학회 |
| 학술대회 |
2013년 가을 (11/06 ~ 11/08, 제주롯데호텔) |
| 권호 |
19권 2호 |
| 발표분야 |
F. 광기능/디스플레이 재료(Optical Functional and Display Materials) |
| 제목 |
열증발법으로 증착된 Ge-Se 박막의 비정질 구조 및 상변화 특성 |
| 초록 |
이성분계 Ge-Se 조성 시스템은 비정질 상태를 형성하는 가장 대표적인 칼코지나이드로써 적외선 투과도가 우수하고 Ovonic threshold switching 현상을 나타내는 등, 매력적인 광학적 및 전기적 특성을 나타낸다. 한편, melt-quenching 공정을 통하여 '벌크' 비정질 상태가 형성되는 GexSe1-x (0 < x < 0.4) 조성범위의 비정질 구조에 대한 많은 연구가 진행되어 왔으나 vapor-quenching에 기반하는 증착법으로 비정질 박막이 형성되는 0.4 < x 조성의 비정질 구조는 확실하게 알려져 있지 않은 상황이다. 본 발표에서는 EXAFS 분석을 통하여 열증발 공정으로 제작된 Ge-Se 박막의 비정질 구조를 파악하였고, 이를 바탕으로 해당 박막이 나타내는 고유한 상변화 현상을 설명하고자 하였다. |
| 저자 |
최용규1, 신상열1, Roman Golovchak2, Himanshu Jain2, 이수연3, 정병기3
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| 소속 |
1한국항공대, 2Lehigh Univ., 3한국과학기술(연) |
| 키워드 |
비정질 칼코지나이드 박막; EXAFS; 상변화
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