| 학회 |
한국고분자학회 |
| 학술대회 |
2011년 봄 (04/07 ~ 04/08, 대전컨벤션센터) |
| 권호 |
36권 1호 |
| 발표분야 |
기능성 고분자 |
| 제목 |
Sythesis of High Modulus Low-k Methylsilsesquioxane using open POSS Crosslinker |
| 초록 |
Trialkoxymethylsilane (TAMS)와 이차원적 환형 구조인 Cyclo-methyltetrasilanol (MT4)을 이용하여 Spin-on-dielectric (SOD) 방식의 저유전 소재로 응용하기 위한 전구체를 합성하였다. 합성된 전구체는 MT4에 의한 가교 효과로 일반적인 졸-겔화물에 비하여 높은 표면강도를 나타내었다. 또한, 얻어진 졸 전구체에 OH로 코너가 열린 POSS를 첨가하고 2차 졸-겔화 반응을 진행하여 최종적인 결과물을 얻었다. 얻어진 결과물은 MT4의 강한 가교효과와 POSS 구조의 기공효과로 인해 기존에 알려진 methylsilsesquioxane계 저유전 재료보다 높은 박막강도와 낮은 유전특성을 나타내었다. 얻어진 최종물질의 화학적 구조는 1H-NMR, 29Si-NMR과 FT-IR을 통하여 분석하였고, 박막의 강도 및 유전특성은 nanoindenter와 impedance analyzer로 각각 측정하였다 |
| 저자 |
오성연1, 이희승1, 이성수1, 최승석1, 황승상1, 최형민2, 백경열1
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| 소속 |
1한국과학기술(연), 2숭실대 |
| 키워드 |
POSS; 메틸실세스키옥산; 저유전
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