| 학회 |
한국재료학회 |
| 학술대회 |
2009년 봄 (05/21 ~ 05/22, 무주리조트) |
| 권호 |
15권 1호 |
| 발표분야 |
에너지환경재료 |
| 제목 |
The effects of TCO/a-Si:H layer on silicon hetero-junction solar cells |
| 초록 |
본 연구에서는 실리콘 이종접합 태양전지에 응응하기 위해 rf-magnetron sputtering 법을 이용하여 Al 이 2 wt.% 도핑된 수소화된 AZO (HAZO) 투명전도 산화막을 제작하고 TCO/p type a-Si:H layer 계면특성을 분석하였다. TCO/ p type a-Si:H layer 간의 계면특성을 향상 시키기 위해 buffer layer 를 삽입하여 CTLM (circular transmission line model) 패턴을 이용한 접촉저항 측정 및 AES (auger electron spectroscopy) 분석을 통한 depth profile을 분석하였으며, 열처리를 통한 TCO박막의 특성변화를 관찰하였다. 시편은 스퍼터링에 사용된 반응가스에 포함된 수소의 유량에 따른 박막 및 계면 특성 변화를 관찰한 H2 flow ration series 와 AZO/a-Si layer 사이에 삽입된 Zn 박막의 두께에 따른 변화를 관찰한 Zn thickness series 로 제작하였으며, 시편 열처리는 RTA(rapid thermal annealing) 장치를 통해 저 진공 상태에서 3분간 진행되었다. 제작된 HAZO 박막의 전기•광학•구조적 특성 분석 및 계면특성 분석을 통해 실리콘 이종접합 태양전지에서 TCO/p type a-Si:H layer의 계면 특성이 미치는 영향과 계면특성 향상을 위한 방안을 연구하였다. |
| 저자 |
탁성주1, 강민구1, 이승훈1, 박성은1, 이준성1, 이정철2, 김동환1
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| 소속 |
1고려대, 2한국에너지기술(연) |
| 키워드 |
Hydrogenated Al-doped ZnO; rf magnetron sputtering; interface analysis; Silicon hetero-junction solar cell
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