| 학회 |
한국재료학회 |
| 학술대회 |
2010년 봄 (05/13 ~ 05/14, 삼척 팰리스 호텔) |
| 권호 |
16권 1호 |
| 발표분야 |
C. Energy and the Environment(에너지 및 환경재료) |
| 제목 |
대면적 투명전도 산화막 제작을 위한 스퍼터 파라미터의 최적화 |
| 초록 |
투명전도 산화막 재료로 널리 쓰이고 있는 Sb:In2O3(ITO)는 전기적 및 광학적 특성이 우수하다는 장점이 있으나, 주재료인 인듐은 매장량이 적어서 가격이 고가이며 수소 플라즈마에 불안정하다는 단점이 있다. 이러한 단점을 가진 ITO의 대체 TCO로 가장 유력한 후보인 Al doped ZnO (AZO)는 가시광을 투과하는 성질을 가지고 있고, 수소 분위기에서 안정하며 가격이 싸다는 장점이 있다. 본 연구에서는 대면적 rf 마그네트론 스퍼터를 이용하여 공정압력, 파워, 온도를 변수로 두어 다양한 조건에서 제조하였고, 두께는 200nm로 일정하게 두어 전기적 및 광학적 특성을 비교 분석하였다. ITO 박막은 AZO 박막의 전기적 및 광학적 특성을 비교하기 위한 대조 군으로 제작하였다. 전기적 특성은 Hall measurement를 사용하여 측정하였고, 광학적 특성은 UV-VIS Spectrophotometer로 측정하였다. 다양한 공정변수를 조절하여 대면적 AZO 박막의 전기적 및 광학적 특성을 최적화 하였다. |
| 저자 |
최수영1, 이승훈1, 탁성주1, 천승주1, 강병준1, 강민구1, 박성은1, 김원목2, 김동환1
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| 소속 |
1고려대, 2KIST |
| 키워드 |
ZnO; Al2O3; rf-magnetron sputter
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