| 학회 | 한국공업화학회 |
| 학술대회 | 2009년 봄 (04/15 ~ 04/17, 호텔인터불고(대구)) |
| 권호 | 13권 1호 |
| 발표분야 | 무기재료 |
| 제목 | Plasma-enhanced MOCVD에 의한 ZnO 합성 |
| 초록 | 최근 친환경 에너지로 주목받고 있는 태양전지에 사용되고 있는 ITO를 대체할 투명전도산화막 화합물로 저렴하며 우수한 전기적, 광학적, 압전 특성을 가진 재료인 ZnO의 연구가 활발하게 진행되고 있다. 본 연구에서는 DEZn을 전구체로 사용하여 plasma-enhanced MOCVD 법으로 Si, 유리 기판 위에 기판 온도, 반응 압력, 플라즈마 인가 유무 등의 조건에서 ZnO 필름을 합성하였으며, 증착된 필름의 화학적, 광학적, 전기적 물성을 α-step, XPS, FT-IR, XRD, SEM-EDS, AFM, 4-point probe 등으로 분석하였다. |
| 저자 | 이종인, 서문규, 최정헌, 김준영 |
| 소속 | 청주대 |
| 키워드 | MOCVD |
