| 학회 | 한국재료학회 |
| 학술대회 | 2004년 가을 (11/05 ~ 11/05, 인하대학교) |
| 권호 | 10권 2호 |
| 발표분야 | 반도체I(실리콘) |
| 제목 | (110) 실리콘 하드마스터를 이용한 멀티모드 평면 광도파로 제작 |
| 초록 | 선택적 습식식각으로 만들어진 핫엠보싱용 (110) 실리콘 하드마스터를 이용하여 멀티모드 평면 광도파로를 제작하였다. (110) 실리콘 웨이퍼의 선택적 습식식각으로 TMAH25% 용액과 KOH 용액을 사용하였다. 광도파로의 코어와 클래드로 사용되는 diphenylsilanediol(DPSD)과 methacryloxypropyl-trimethoxysilane(MPTMS)의 혼합물(HYBRIMER)은 조성을 조절하여 굴절률을 제어하였고, 광도파로는 엠보싱기법으로 저온저압공정에서 제작되었다. 제작된 마스터와 광도파로의 형상은 SEM과 AFM으로 관찰하였고, 광도파로의 광특성은 850nm 파장의 레이저로 분석하였다. |
| 저자 | 정유민1, 김영철1, 김우수2, 배병수2 |
| 소속 | 1한국기술교육대, 2한국과학기술원 |
| 키워드 | 습식식각; 엠보싱; 멀티모드; 평면광도파로 |
