| 학회 | 한국재료학회 |
| 학술대회 | 2008년 봄 (05/22 ~ 05/23, 상록리조트) |
| 권호 | 14권 1호 |
| 발표분야 | 반도체재료 |
| 제목 | 초크랄스키법에서 도가니의 온도구배가 유동장에 미치는 영향 |
| 초록 | 최근 반도체, 태양전지 산업의 발전으로 실리콘 단결정의 수요가 점점 늘고 있다. 초크랄스키법을 사용하는 실리콘 단결정 제조기술은 발전단계에 있으며 활발한 연구를 통한 생산성 향상이 필요하다. 실리콘 결정의 성장은 액상의 유동, 온도분포와 같은 주위환경에 민감하게 반응하므로 결정성장에 영향을 미치는 모든 조건을 파악하고 이를 제어할 수 있는 기술이 필요하다. 이를 위해선 제조공정의 조건을 포함하는 수치해석 연구가 필수적이다. 본 연구에서는 수치해석을 이용하여 도가니 외벽에 상하로 온도구배를 줄 때의 액상의 유동이 어떻게 변하는가를 연구하였다. 고품질의 단결정 제조에 필요한 온도분포를 얻기 위해서는 액상의 유동제어가 필수적이고 이는 액상의 온도구배에 영향을 받으므로 열공급의 구배를 통한 액상 유동의 변화는 결정성장에 많은 영향을 미친다. 또한 이와 같은 유동제어는 공정시 요구되는 열에너지의 효율성 향상에도 이바지한다. |
| 저자 | 박종인, 한정환 |
| 소속 | 인하대 |
| 키워드 | 초크랄스키; 실리콘; 단결정; 유동 |
