| 학회 |
한국재료학회 |
| 학술대회 |
2013년 봄 (05/23 ~ 05/24, 여수 엠블호텔(THE MVL)) |
| 권호 |
19권 1호 |
| 발표분야 |
A. 전자/반도체 재료(Electronic and Semiconductor Materials) |
| 제목 |
Sputtering 법으로 제조된 TiO2/TiN 이종접합 박막의 친수성 효과 |
| 초록 |
TiO2의 광촉매능 (친수성, self-cleaning, 유기오염물질 분해) 을 이용하여 다양한 응용기술이 개발되고 있다. 특히 친수성 효과를 갖는 유리제품들이 개발되고 있는데, 이는 유리 표면의 Anti-fogging 현상을 이용하는 기술이다. 이 기술은 자동차, 욕실 및 건축물의 창문 등에 이용된다. 주로 거울에 많이 이용하지만 건축물의 창문 등에도 광촉매능을 가지는 유리 개발이 필요하기 때문에 친수성을 가지는 투명한 창호 개발이 활발이 되고 있다. 본 연구에서는 많이 쓰이고 있는 Sol-gel 이나 CVD 법이 아닌 Sputtering 법을 이용하여 유리 표면에 TiO2/TiN 이종접합 박막을 증착하였다. 박막의 구조는 X-ray diffraction, SEM, XPS, AFM을 사용하여 분석하였다. 광학적 특성은 UV-Vis spectroscopy로 측정하였고, 친수성 평가는 Pendant-drop method로 접촉각을 측정하였으며 이때 조사된는 UV는 파장이 368 nm 이다. 암실에 오랫동안 유지 시킨 후 접촉각을 측정하는 방법으로 야간의 광활성도를 평가하였다. 그 결과 가시광선의 투과율은 73%로 투명하였고 UV조사 2시간 만에 15〫이하의 친수성이 관찰되었고 암실에서 15시간까지 친수성을 유지하는 결과를 나타냈다. 이 연구에서는 interlayer에 TiN을 증착하여 TiO2의 친수특성에 미치는 영향에 대하여 고찰하였다. |
| 저자 |
유호탁, Chadrasekhar Loka, 한형규, 박경열, 이기선
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| 소속 |
공주대 |
| 키워드 |
TiO2; TiN; Sputter; 친수성
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