| 학회 | 한국화학공학회 |
| 학술대회 | 2001년 가을 (10/19 ~ 10/20, 한밭대학교) |
| 권호 | 7권 2호, p.5179 |
| 발표분야 | 재료 |
| 제목 | BST 박막 제조에 사용되는 Ti(2meip)2 전구체의 열분해 특성 |
| 초록 | 본연구는 ALD공정을 이용한 BST 박막 제조에 있어서 Ti precursor인 Ti(2meip)2의 열분해 특성에 관한 연구이다. ALD의 전구체는 불활성기체에서는 안정된 휘발성을 가져야 하고 활성 기체에서는 분해특성을 가져야 한다. mass, TG-DSC, IR등을 통해 분석해 본 결과 Ti(2meip)2 전구체가 이런 요건을 만족하고 있고 ALD공정에서의 Ti precursor로 알맞음을 알 수 있었다. |
| 저자 | 이 도현1, 조 성일2, 허 정식, 조 용석, 문 상흡, 민 요셉 |
| 소속 | 1서울대, 2삼성 종합 기술원 |
| 키워드 | ALD; Ti; BST |
| 원문파일 | 초록 보기 |
