| 학회 |
한국화학공학회 |
| 학술대회 |
2014년 봄 (04/23 ~ 04/25, 창원컨벤션센터) |
| 권호 |
20권 1호, p.282 |
| 발표분야 |
분리기술 |
| 제목 |
Separation of SF6 from N2 using MIL-100(Fe) granule |
| 초록 |
금속-유기 복합 나노세공체(Metal Organic Frameworks, MOF)는 기존 흡착제보다 상대적으로 높은 비표면적을 가질 뿐만 아니라, 유기 리간드 종류에 따라 기공의 구조와 크기가 조절 가능하다는 장점이 있어 기체 분리/저장 분야에 응용 가능성이 매우 높다고 할 수 있다. 하지만 MOF는 그 생산과정에서 주로 분말 형태로 합성되기 때문에 실제 공정에 직접적으로 적용하기에는 한계가 있다. 따라서 본 연구에서는 분말 형태의 MIL-100(Fe)를 granule 형태로 성형하고, 이의 특성분석을 실시하여 분말과 비교하였다. 또한 반도체 공정에서 배출되는 SF6/N2 분리 흡착제로서 MIL-100(Fe) granule의 적용 가능성을 검토하였다. 이를 위해 흡착등온선 및 흡착열을 측정하고 파과실험을 수행하였으며, 기존의 흡착제와 비교분석 하였다. |
| 저자 |
김필중1, 유영우1, 정윤호1, 서정권1, 황영규1, 장종산1, 이창하2
|
| 소속 |
1한국화학(연), 2연세대 |
| 키워드 |
MOF; SF6; separation; granule
|
| E-Mail |
|
| 원문파일 |
초록 보기 |
