| 학회 | 한국공업화학회 |
| 학술대회 | 2009년 가을 (10/15 ~ 10/16, 서울산업대학교 내 서울테크노파크) |
| 권호 | 13권 2호 |
| 발표분야 | 정보전자소재(포스터) |
| 제목 | MOCVD에 의한 Al 합성 반응의 초기 박막 생성 과정 연구 |
| 초록 | 본 연구에서는 N-methyl pyrolidine alane (MPA)을 전구체로 사용하여 MOCVD 방법으로 TiN/Si 기판 위에 Al 박막을 합성하였다. 증착 반응이 일어나는 초기 박막 생성과정의 표면 반사도를 레이저빔과 포토미터를 사용해 in-situ로 측정하여 증착 초기 단계에 대해 분석하였다. 표면반사도는 반응 초기 현저히 감소하였다가 수~수십 초 후 급격히 증가하여 초기 반사도의 약 2 배에 이른 후 다시 감소하여 그 이후에는 거의 0의 표면반사도를 나타내었다. 반응의 주요 단계에서 생성된 박막의 SEM, AFM, 4-point probe, XRD 분석을 통해 초기 박막생성 과정을 시간대별로 관찰, 분석하였다. |
| 저자 | 이종인, 김준영, 서문규 |
| 소속 | 청주대 |
| 키워드 | Al-MOCVD; MPA; Surface reflectance |
