| 학회 | 한국재료학회 |
| 학술대회 | 2008년 가을 (11/07 ~ 11/07, 차세대융합기술연구원) |
| 권호 | 14권 2호 |
| 발표분야 | 반도체재료 |
| 제목 | 나노 패턴 n-ZnO/p-GaN 이종접합 LED 제작 및 특성평가 |
| 초록 | RF 마그네트론 스퍼터를 이용하여 p-GaN/Al2O3 박막 위에 n-형 ZnO 박막을 성장하고, 제작된 소자의 구조적, 광학적, 전기적 특성을 주사전자현미경 (SEM), X-선 회절 분석 (XRD), photoluminescence (PL), electroluminescence (EL) 을 이용하여 조사하였다. XRD-rocking 분석 결과 반치폭 300 arcsec 의 우수한 결정성을 가진 ZnO 박막을 확인 하였고, PL분석을 통하여 375 nm 파장의 n-ZnO 피크와 430 nm 파장을 가진 p-GaN 피크를 관찰하였다. 또한 EL 분석결과 전형적인 p-n접합 I-V 커브를 보였으며 스펙트럼으로부터 각각 430nm, 480nm위치의 peak와 넓은 yellow band peak가 존재함을 확인하였다. 제작된 소자를 나노 패터닝하여 나노 패터닝이 소자의 발광효율 및 제반특성에 미치는 영향에 대하여 연구하였으며 구체적인 것은 발표 시 토의할 예정이다. |
| 저자 | 오명원, 황승호, 이병택 |
| 소속 | 전남대 |
| 키워드 | ZnO; LED; 나노패턴 |
