| 초록 |
본 연구에서는 5,11-bis(triethylsilylethynyl)anthradithiophene (TES-ADT) 박막의 패턴화 공정을 통해 다양한 모양과 사이즈의 결정 어레이의 가스센서를 제조하였으며, 이의 감지 특성을 체계적으로 분석하였다. 유기용매와 패턴이 새겨진 Polydimethylsiloxane (PDMS) 몰드를 이용하여 TES-ADT 박막의 패턴화 및 결정화 공정을 동시에 진행하였다. TES-ADT 패턴의 폭이 좁을수록 유기반도체 결정 가장자리 부분의 넓이가 증가하였고, 가스 센서의 성능이 향상되었다. 이를 통해 가장자리 부분이 가스 분자가 반도체-유전 계면에 도달하는 확산 경로로 작용할 수 있음을 확인하였다. 본 연구는 유기박막트랜지스터 기반 가스센서에서 가스 분자의 확산 경로에 대한 새로운 관점 및 효율적 가스센서 제조방법을 제시한다. *이 성과는 정부(과학기술정보통신부)의 재원으로 한국연구재단의 지원을 받아 수행된 연구임(No. 2019R1A2C1010723). |
