| 학회 | 한국화학공학회 |
| 학술대회 | 2002년 가을 (10/24 ~ 10/26, 서울대학교) |
| 권호 | 8권 2호, p.2885 |
| 발표분야 | 공정시스템 |
| 제목 | 최적 반복 학습제어기법을 이용한 상업용 RTP 장치 웨이퍼 온도의 다변수 제어 |
| 초록 | 본 연구에서는 시변 상태 공간 모델에 근거한 다변수 최적 반복학습 제어기법을 제안하여 상업용 RTP 장치에 적용하였다. |
| 저자 | 조문기, 원승희, 주상래, 진인식, 양대륙, 이광순 |
| 소속 | 서강대 |
| 키워드 | Batch Control; RTP; Temperature Control |
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| 원문파일 | 초록 보기 |
