| 학회 | 한국공업화학회 |
| 학술대회 | 2010년 가을 (10/27 ~ 10/29, 대전컨벤션센터) |
| 권호 | 14권 2호 |
| 발표분야 | 정보.전자소재 |
| 제목 | Inductively Coupled Plasma Reactive Ion Etching ofMgO Thin Films Using a CH4/Ar Plasma(*발표취소) |
| 초록 | ( 발 표 취 소 ) |
| 저자 | 김은호, 소우빈, 공선미, 정지원 |
| 소속 | 인하대 |
| 키워드 | MgO thin films; Magnetic tunnel junction; Inductively coupled plasma reactive ion etching; CH4/Ar gas |
