| 학회 |
한국재료학회 |
| 학술대회 |
2016년 가을 (11/16 ~ 11/18, 경주 현대호텔) |
| 권호 |
22권 2호 |
| 발표분야 |
G. 나노/박막 재료 분과 |
| 제목 |
CIS (CMOS Image Sensor)의 집광효율 개선을 위해 ZnO Film을 이용한 gapless microlens 형성 방법에 관한 연구 |
| 초록 |
CIS (CMOS Image Sensor)의 화소수 증가를 위해 빛을 수광하는 단위 pixel 면적은 점차 작아지고 있으며 이로인해 단위 pixel 에서 수광할 수 있는 빛의 양은 면적 감소만큼 작아지게 되었다. 따라서 CIS 성능 향상을 위해서는 노이즈 감소와 더불어 집광 효율 향상이 해당 분야 연구자들에게 가장 큰 연구 주제가 되고 있다. 본 연구에서는 CIS에 사용되는 Gapless Microlens의 새로운 제작 방법을 제시하기 위해서 기초 평가를 진행하였으며, Corn shape의 하부 패턴에 MOCVD 방식으로 ZnO Film을 증착하므로써 Gapless microlens가 형성됨을 SEM 장치를 이용하여 확인하였으며, ZnO 증착조건의 변화를 통하여 microlens 표면의 roughness를 변화시킬 수 있음도 확인하였다. 본 연구에서 만들어진 Gapless microlens는 CIS 제품에서 2중 구조의 microlens를 채용할 때 첫번째 microlens 제작 방법으로 유용하리라 판단되며, 상대적으로 낮은 온도(100~200도)에서 공정이 진행됨으로써 소자특성 변화없이 집광 효율 향상을 기대할 수 있을것으로 판단된다 |
| 저자 |
김철, 김대식, 정우섭, 박준성, 조승희, 변동진
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| 소속 |
고려대 |
| 키워드 |
<P>CIS (CMOS Image Sensor); gapless; microlens; ZnO (zinc oxide)</P>
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