| 학회 |
한국재료학회 |
| 학술대회 |
2020년 가을 (11/18 ~ 11/20, 휘닉스 제주 섭지코지) |
| 권호 |
26권 1호 |
| 발표분야 |
A. 전자/반도체 재료 분과 |
| 제목 |
열/전기 해석과 상장법을 결합한 PCM의 Reset pulse falling time에 따른 재결정화도 연구 |
| 초록 |
상변화메모리(Phase-change memory)는 빠른 동작속도 및 저전력 구동등의 장점이 있는 유망한 차세대 메모리 반도체 중 하나이다. 상변화메모리에 가장 많이 쓰이는 재료 중 하나인 Ge2Sb2Te5(GST)는 Amorphous상에서 Crystalline으로 변하는 Set과정에서 Nucleation & Growth를 통한 상변화가 이뤄진다. 이러한 상변화메모리의 switching 동작을 시뮬레이션하기 위해서는 전기, 열, 상변화모델에 대한 결합된 계산이 요구된다. 그러나 기존의 상변화 시뮬레이션 계산을 위한 상용 모델들은 이러한 Set 과정에서 Nucleation & Growth를 완벽히 반영하지 못하는 단점을 지니고 있다. 우리는 유한요소법을 기반으로 하는 COMSOL Multiphysics를 이용하여 열/전기모델(electrothermal model)과 상장모델(phase-field model)을 함께 해석하는 fully-coupled model을 확립했다. 이 모델을 통해 Reset pulse falling time에 따른 재결정화(recrystallization)에 대해서 연구한다. |
| 저자 |
이환욱, 신민규, 권용우
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| 소속 |
홍익대 |
| 키워드 |
<P>Phase-change memory(PCM); Phase-field model; finite-element method</P>
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