| 학회 | 한국공업화학회 |
| 학술대회 | 2016년 가을 (10/26 ~ 10/28, 제주국제컨벤션센터(ICCJEJU)) |
| 권호 | 20권 2호 |
| 발표분야 | 나노_포스터 |
| 제목 | Fabrication of CuO Humidity Sensor coated on Cylinderical PET Mono Filament |
| 초록 | 최근 들어 스마트 디바이스에 관한 관심이 높아짐에 따라 전자 섬유를 이용한 센서에도 많은 관심이 집중되고 있다. 그 중에서도 습도 센서는 우리의 삶에 있어서 가장 밀접한 연관성을 지니고 있다. 습도센서는 CuO thin film를 sputtering process를 이용하여 제작 하였다. Sputtering 조건은 Ar flow rate, O2 flow rate,가 각각 15 sccm, 6 sccm이며 working pressure는 3.15 × 10−2 Torr, RF power는 200W로 10분간 sputtering을 진행 하였다. 습도는 30% 부터 90%까지 측정 하였으며 각각의 습도에 대한 I-V 측정은 KEITHLEY 6517장비를 이용하여 측정 하였다. |
| 저자 | 장주희, 한정인, 박영민 |
| 소속 | 동국대 |
| 키워드 | CuO; Cylinderical; PET |
