| 학회 |
한국고분자학회 |
| 학술대회 |
2010년 봄 (04/08 ~ 04/09, 대전컨벤션센터) |
| 권호 |
35권 1호 |
| 발표분야 |
기능성 고분자 |
| 제목 |
Effects of ZnO coatings deposited on PEN by plasma enhanced chemical vapor deposition |
| 초록 |
그동안 LED 및 레이저다이오드 (LD) 소자로 GaN계열이 주로 이용되어 왔으나 공정 일관성·수율·박막 품질 및 균질성 상의 개선이 요구되면서 세계적으로 ZnO가 차세대 발광소자 재료로 주목을 받고 있다. ZnO의 경우 저온성장으로 고품위 · 저결함 박막성장을 꾀할 수 있고, 기판강도가 적당하고 제작공정도 간단하여 LED 조명시장과 차세대 DVD 등 새로운 분야를 창출할 있을 것으로 각광을 받고 있다. 본 실험에서는 ZnO가 코팅된 필름의 수분 차단성 효과를 보기 위해 PEN 필름 위에 ZnO를 코팅하였다. 실험은 RIE mode에서 RF power를 50, 100, 300W로 각각 변화시켜 진행하였다. 또한 ZnO만 코팅한 경우와 두 SiOx층 사이에 ZnO 층을 코팅하였을 경우에 대해, 각각의 증착된 Morphology 및 증착 두께를 FE-SEM을 통하여 확인하였고, Water vapor transmission rate (WVTR)를 측정한 결과, 두 SiOx층 사이에 ZnO 층을 100W의 RF power로 코팅하였을 경우 가장 우수한 수분 차단성을 보였다. |
| 저자 |
송준용1, 김원호1, 김주호1, 유충근2, 윤수영2, 김성룡1
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| 소속 |
1충주대, 2LG Display |
| 키워드 |
PECVD; HMDSO; WVTR; SiOx
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| E-Mail |
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