| 학회 |
한국재료학회 |
| 학술대회 |
2018년 봄 (05/16 ~ 05/18, 삼척 쏠비치 호텔&리조트) |
| 권호 |
24권 1호 |
| 발표분야 |
G. 나노/박막 재료 분과 |
| 제목 |
FCVA 소스를 이용한 ta-C 코팅에서 기판 펄스 전압 조건과 CH4 가스 주입량에 따른 잔류응력 및 적외선 투과율 특성 변화 |
| 초록 |
Diamond-like carbon (DLC) 코팅은 우수한 기계적 성능으로 공구의 수명이나 금형의 수명을 늘리기 위한 용도에 사용되고 적외선 렌즈와 윈도우의 보호에도 사용된다. DLC 코팅의 한 종류인 tetrahedral amorphous carbon (ta-C) 코팅은 가장 우수한 경도 특성을 보여주기 때문에 많은 응용분야에서 ta-C 코팅의 적용에 대한 관심이 증가하고 있다. 본 연구에서는 filtered cathodic vacuum arc (FCVA) 소스를 이용한 ta-C 코팅을 적외선 내구성 광학코팅에 적용하기 위한 연구를 수행하였다. ta-C 코팅을 적외선 내구성 코팅에 적용하기 위해서는 적외선 흡수를 줄여야 하며 무반사 성능을 만족하기 위한 1 um 이상의 두께를 증착하는 것이 필요하다. 이러한 목표를 달성하기 위하여 기판 펄스 전압 조건과 CH4 주입량을 변화시키면서 잔류응력과 적외선 투과율의 변화를 측정하였다. |
| 저자 |
서민우, 인정환, 최주현
|
| 소속 |
한국광기술원 |
| 키워드 |
<P>DLC; ta-C; 적외선; 투과율; 잔류응력</P>
|
| E-Mail |
|
