화학공학소재연구정보센터
학회 한국화학공학회
학술대회 2017년 봄 (04/26 ~ 04/28, ICC 제주)
권호 23권 1호, p.681
발표분야 에너지 환경
제목 전주도금법을 이용한 스크린 마이크로 메쉬 제조시 전기화학적 특성 연구
초록 Screen micromesh 는 최근 전기소자, 태양전지분야 등 다양한 분야에 적용하고 점차 그 응용범위를 넓혀가고 있다. 스크린 마이크로 메쉬는 작은 구멍이 무수히 뚫려있는 얇은 전자판으로. OLED패널은 패널 기판에 RGB(레드, 그린, 블루) 형광체 유기물질을 진공 증착시켜 만들어지는데 유기물들이 선택한 영역에만 증착되도록 하는 역할을 한다. micro mesh 구멍이 세밀할수록 보다 높은 패널 화소를 구현할 수 있다. 기존의 screen micromesh sheet 제조 방식은 레이저 가공방식 및 금속 식각(etching) 방식으로 분류할 수 있으며, 최근 들어 DFR(dry film resist) 패터닝 공정 및 Ni 전주도금기술을 이용한 정밀 마스크 제작 기술이 개발되고 있다. 레이저 가공 방식은 레이저 가공 장치를 이용하여 일정한 두께, 구현하고자 하는 패턴 크기가 20 ㎛ 이상이 되어야 하는 등 패턴 크기 축소에 제한을 받으며 식각된 개구부의 벽면 조도가 좋지 않고 장비 의존도가 매우 높은 단점이 있다.
이러한 단점 때문에 전주도금을 이용한 스크린 마이크로 메쉬을 제조하는 방법이 사용되고 있다. 본 연구에서는 Ni 전주도금법으로 도금액의 농도를 변화시켜 최적 조건을 찾는 연구를 진행 하였으며 이때 선폭은16±1㎛과 개구율 60±2㎛ 이였다. 선폭과 개구율이 적으면 적을수록 우수하다.
저자 허광선1, 배영한2
소속 1경남정보대, 2(주)한성이즈텍
키워드 친환경
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