화학공학소재연구정보센터
학회 한국재료학회
학술대회 2017년 가을 (11/15 ~ 11/17, 경주 현대호텔)
권호 23권 2호
발표분야 C. 에너지 재료 분과
제목 Optimization of copper sample shape in glow discharge mass spectrometer
초록 Glow discharge mass spectrometry(GD-MS)는 다양한 고체형태의 시료 분석이 가능하고 시료 형태에 따른 glow discharge cell의 최적화가 요구되므로, 본 연구에서는 구리 핀형 시료와 판형 시료를 제작하여 최적화 하였다. 1 kV, 2.2 mA의 동일한 조건에 Ar flow rate만 변경하여 진행하였고, 구리 핀형 시료는 길이에 따라 9 mm부터 19 mm까지 2 mm간격으로 6개의 시료 분석한 결과 11 mm와 13 mm 시료에서 1.1 X 109cps로 가장 높은 이온 밀도임을 확인하였다. 또한 최적화된 핀 시료에서 판형시료는 분석면적이 5.02 cm2으로, 5.96 cm2(핀길이 11 mm)의 핀형시료 보다 약간 작음에도 불구하고, 이온 밀도는 2.8 X 109 cps로 이온강도는 약 3배 높은 것을 확인하였다. 그 이유는 판형 시료는 이온밀도가 이온 출구 슬릿 방향으로 일정하게 형성돼는 반면, 핀형 시료는 이온 출구 슬릿방향과 수직 방향으로 핀형 시료 주변에 밀도가 높으며, 시료의 길이가 길어지면서 분석면적이 넓어져 이온 생성에 유리하지만, 이온 출구 슬릿으로 이동 하면서 핀 시료 자체에 충돌하여 중성화되기 때문이다.
저자 장민경1, 이종현1, 윤재식2
소속 1충남대, 2한국기초과학지원(연)
키워드 <P>Glow discharge; GDMS; Wire; Disk; Analysis</P>
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