| 학회 | 한국화학공학회 |
| 학술대회 | 2000년 가을 (10/20 ~ 10/21, 포항공과대학교) |
| 권호 | 6권 2호, p.4529 |
| 발표분야 | 재료 |
| 제목 | 안티모니 3-5족 화합물 반도체 표면에서 유기금속 전구체의 분해반응 연구 |
| 초록 | 본 연구는 안티모니 화합물 반도체 결정표면에서 유기금속 전구체의 분해반응을 초진공 표면과학기술을 이용 연구한 결과를 보여준다. GaSb, InSb 물질이 연구되었으며 전구체로써 trialkyl-metal precursor 및 nitrogen-금속 결합을 갖는 유기금속 전구체가 이용되었다. 그룹 3족 금속 전구체와 그룹 5족 금속 전구체의 반응성의 차이가 논의되었으며 또한 두 antimonide 표면에서 전구체들의 분해반응 경로 및 메카니즘이 연구되었다. |
| 저자 | 용기중 |
| 소속 | 포항공과대 |
| 키워드 | |
| 원문파일 | 초록 보기 |
