화학공학소재연구정보센터
학회 한국화학공학회
학술대회 2010년 봄 (04/22 ~ 04/23, 대구 EXCO)
권호 16권 1호, p.711
발표분야 이동현상
제목 Hele-Shaw 계에서 유발되는 자연대류 특성에 관한 연구
초록 최근 산업의 고도화 제품의 소형화, 정밀화와 더불어 반도체 산업 등의 많은 공정에서 열 및 물질전달량과 유체의 유동 특성에 대한 엄밀한 제어가 요구되고 있다. Hele-Shaw 셀은 미세틈새에서 유체 흐름을 발생시켜 유동 특성을 파악할 수 있는 장치로서 마이크로 시스템의 공정설계/제어 및 신뢰성평가에 효과적으로 활용될 수 있다.본 연구에서는 연직방향으로 위치한 미세 셀 내의 유체 층에서 유발되는 자연대류에 의한 물질전달 특성을 전기화학적 기법을 이용하여 자연대류의 발생특성을 실험적으로 조사하였다.황산구리와 황산용액계에 대하여 구리이온의 자연대류 발생특성은 부력의 변화에 따른 자연대류의 발생시점과 물질전달량의 변화특성이 틈새의 간격이 줄어들수록 그 모드가 변화하였으며, 이는 전산모사를 통해 실험의 결과를 확인할 수 있었다.
(서울시 기반사업의 지원과제임)
저자 박정민, 윤도영, 한종현
소속 광운대
키워드 Hele-Shaw 셀; 자연대류
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원문파일 초록 보기