학회 |
한국재료학회 |
학술대회 |
2008년 봄 (05/22 ~ 05/23, 상록리조트) |
권호 |
14권 1호 |
발표분야 |
에너지환경/생체재료 |
제목 |
Improvement of light trapping effect in thin film solar cells fabricated on high haze TCO |
초록 |
본 연구에서는 투명 전도 산화막의 전기적 특성 향상과 대기중 안정성 향상을 위해 rf magnetron sputtering 법을 이용하여 Al 이 2 wt.% 도핑된 수소화된 AZO 투명전도 산화막을 제작하고, 다단계 표면 식각을 통해 박막 태양전지에 응용하기 위한 광학적 특성을 개선하였다. 다단계 표면식각 과정을 거친 박막은 μc-Si:H 태양전지에 적용하여, 그 특성을 분석하였다. TCO 박막의 light trapping 효과 개선은 TCO 박막 증착후 묽은 HCl (0.5%) 에서 표면 식각과 박막 증착을 반복하며 표면 형상 제어 및 박막의 안개도(haze)를 향상하였으며, 이때 박막의 안개도는 표면식각을 전•후하여 2~52% 로 분포되었다. 투명 전도 산화막의 다양한 표면 형상에 따른 μc-Si:H 박막 실리콘 태양전지의 광전류 특성 및 양자효율을 측정하고, 박막 안개도에 따른 태양전지 효율변화를 분석하였다. |
저자 |
탁성주, 강민구, 박성은, 이준성, 임희진, 김동환
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소속 |
고려대 |
키워드 |
TCO; Hydrogenated Al-doped ZnO; rf magnetron sputtering; Haze; μc-Si:H solar cell
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