| 학회 |
한국재료학회 |
| 학술대회 |
2006년 가을 (11/03 ~ 11/03, 수원대학교) |
| 권호 |
12권 2호 |
| 발표분야 |
나노 및 생체 재료 |
| 제목 |
Fabrication of β-tricalcium phosphate Thin Film depending on the Annealing Sequence and Heat Treatment by RF-Magnetron Sputtering |
| 초록 |
인체의 뼈를 비롯한 대부분의 조직은 경미한 손상시 자연적으로 치유되고 재생할 수 있는 능력을 가지고 있다. 그러나 많은 임상의 경우 질병 또는 외상등과 같은 다양한 요인에 의해 조직이 손상되어 인위적인 치료가 요구되고 있다. 이에 뼈조직과 결합능력이 우수한 β-TCP 생체세라믹은 사고 또는 선천적 결손에 의해 손상된 신체의 기관을 교체시키는 목적으로 사용되는 재료로 첨단 세라믹스 중 중요한 일부분으로 연구되고 있다. 이에 따라 재료의 높은 강도와 고밀도 β-TCP의 우수한 생체적합성에 대한 장점만을 결합시켜 치과용 재료, 골 대용품 또는 인공관절에 적용할 목적으로 각종 증착공정을 이용하여 기판에 β-TCP를 증착시키는 방법이 시도되고 있다. 그러나 증착공정에 의한 제조는 재료 사이의 구조론적 차이에 의하여 박막과 기판 사이의 접착력이 낮은 단점이 있다. 본 연구에서, 마이크로법에 의해 제조된 약 100nm 크기의 직경을 갖는 β-TCP 분말을 이용하여 무가압 소결에 의하여 타겟을 제조하였다. 기판은, 상용 실리콘 웨이퍼를 사용하였으며 β-TCP 박막은 아르곤 가스 분위기에서 4시간동안 RF-마그네트론 스퍼터링에 의하여 제조되었다. 이들 박막 시편들은 대기중에서 열처리 온도 변수에 따라 미세조직 및 물성을 평가하였다. 박막의 미세조직 및 결정상은 SEM, XRD, EDS와 AFM을 사용하여 분석되었으며 나노-인덴터를 이용하여 물성을 평가하였다. |
| 저자 |
Hyun-Jin Hong1, Min-Ho Youn2, Byong-Taek Lee1
|
| 소속 |
1School of Advanced Materials Engineering, 2Kongju National Univ. |
| 키워드 |
β-TCP thin film; RF-magnetron sputter; annealing
|
| E-Mail |
|
