| 학회 | 한국재료학회 |
| 학술대회 | 2016년 가을 (11/16 ~ 11/18, 경주 현대호텔) |
| 권호 | 22권 2호 |
| 발표분야 | A. 전자/반도체 재료 분과 |
| 제목 | Fabrication and evaluation of imperceptible In-Ga-Zn-O thin-film transistors with floating process |
| 초록 | 미래 전자기기로서 최근에 각광받고 있는 전자피부(electronic-skin, e-skin)는 로봇, 의수족의 감각기관으로 활용하거나, 심전도, 근전도, 체온 등을 실시간 모니터링 하는 헬스 케어 분야 등에 활용가치가 높다. e-skin은 인체나 로봇 등에 직접 부착하여 피부와 같이 작용하는 역할을 하기 때문에 매우 얇고(초박형) 유연하고 투명하게 제작하여 대상과의 일체성을 높여야 한다. 따라서 e-skin의 소자구동이나 신호증폭이라는 핵심적인 역할을 하는 박막 트랜지스터(TFT) 역시 초박형의 기판 위에 투명한 반도체, 절연체, 금속을 사용하여 초박형/유연성/전면 투명성을 가지게 해야 한다. 기존 미국의 J. A. Rogers 그룹이나 일본의 T. Someya 그룹 등은 초박형의 유연한 TFT를 개발하였지만, 투명전극을 사용한 전면 투명의 초박형 유연 소자에 대한 연구는 부족한 실정이다. 또한 기존 초박형 유연 TFT 소자는 채널층 물질로서 고가의 결정질 Si 또는 낮은 이동도/낮은 안정성의 유기물을 사용하였다. 본 연구에서는 약 5 µm의 초박형 parylene 기판 위에 높은 이동도/안정성/투명성을 가지는 인듐갈륨아연산화물(IGZO) 채널층 및 인듐주석산화물(ITO) 투명전극을 사용한 전면 투명의 초박형 유연 TFT 소자를 제작하였다. 그리고 이의 전기적 특성 평가 및 bending test를 통해 기존의 불투명한 금속을 사용한 초박형 유연 소자와 물리적인 특성을 비교, 평가하였다. |
| 저자 | Kyung Su Kim, Won Jun Kang, Cheol Hyoun Ahn, Hyung Koun Cho |
| 소속 | 성균관대 |
| 키워드 | <P>e-skin; 비인지; floating process; 투명전극</P> |
