| 학회 | 한국화학공학회 |
| 학술대회 | 1999년 가을 (10/22 ~ 10/23, 경남대학교) |
| 권호 | 5권 2호, p.4537 |
| 발표분야 | 재료 |
| 제목 | Display Shadow Mask의 식각 공정에 관한 연구 |
| 초록 | 본 연구에서는 Display shadow mask의 재료인 Invar 합금의 spray etching 공정을 보다 근본적으로 이해하고 이를 통해 생산 공정에 직접 적용할 수 있는 etching 속도식을 구하기위한 일련의 연구를 수행하였다. 우선 실험에 의해 공정 변수들이 etch rate에 미치는영향을 조사하였고, 공정 모델링을 통해 etching 속도식을 유도하였다. 이어 속도식으로부터계산된 값과 실험 data를 비교, 분석하였으며 이를 실제 shadow mask의 생산 공정에 적용함으로써 유도된 속도식의 유용성을 평가하였다 |
| 저자 | 윤덕선, 이근우, 박진호 |
| 소속 | 영남대 |
| 키워드 | Display Shadow Mask; 염화제2철수용액; Invar 합금 |
| 원문파일 | 초록 보기 |
