| 학회 | 한국재료학회 |
| 학술대회 | 2012년 봄 (05/17 ~ 05/18, 무주덕유산리조트) |
| 권호 | 18권 1호 |
| 발표분야 | F. 광기능/디스플레이 재료(Optical Functional and Display Materials) |
| 제목 | Properties of ITO thin film deposited by electro-spray method. |
| 초록 | LCD(liquid crystal display), PDP (plasma display panel), OLED(organic light emitting diode) 등의 광 메모리, 정전기 차폐막, 태양전지 등과 같은 소자의에서 투명한 전도체 TCO(transparent conducting oxide) 로써 기판으로 많이 쓰이고있는 ITO(Indium Tin Oxide) 박막은 에너지 관련 산업재료 및 기타 전자 재료로서 많은 응용 분야에서 활용되고 있다. 하지만 주로 제조시에 Sputtering, e-Beam evaporation 등의 고진공 환경의 건식 공정으로 증착되어 고가의 생산비용이 필요하다는 단점이 있으나 현탁액등을 사용하여 Spray 등으로 증착하는 습식공정(Spray coating)의 경우 생산장비의 단가가 저렴하고 생산속도가 빠르며 대면적 증착이 가능한 장점이 있다. 하지만 현재까지는 박막의 비저항과 투과율은 건식공정에 비해서 낮아 추가적 연구들이 진행중에 있다. 본 발표에서는 electro-spray coating 방법으로 glass위에 증착한 ITO 박막의 열처리 온도에 따른 전기적, 광학적, 구조적특징을 알아보고자 실험을 하였다. ITO 현탁액을 사용하여 증착하였으며 70℃의 기판온도에서 Spray 분사압력 압력 4.3, 3.65, 3.01, 2.15Mpa, 1mL/sec 의 조건으로 증착하였으며 증착된 ITO 박막을 아르곤 가스 분위기의 Furnace에서 300℃, 500℃에서 후 열처리를 하였다. 증착된 박막의 특성 분석을 위해 Spectrophotometer를 사용하여 투과율 측정, Sheet resistance Measuring System을 사용하여 표면 저항 측정을 하였다. 후열처리 온도가 높을 때(500℃) 투과율이 더 높았으며, 열처리온도가 500℃일때는 Spray 분사압력이 높을수록 투과율이 높았으며 표면저항은 분사압력이 낮을수록 낮게 나왔다. |
| 저자 | Jeong-Pyo Oh1, Jae-Cheol Park2, Yu-Ri Lee3, Young-Jun Lee4, Gi-Seok Heo5 |
| 소속 | 1Department of Physics, 2Chonnam National Univ., 3Gwang-ju, 4Korea, 5National Center for Nanoprocess and Equipments |
| 키워드 | ITO; Spray coating; Wet coating |
