| 학회 | 한국화학공학회 |
| 학술대회 | 2000년 가을 (10/20 ~ 10/21, 포항공과대학교) |
| 권호 | 6권 2호, p.4549 |
| 발표분야 | 이동현상 |
| 제목 | Ru-MOCVD 공정의 CFD해석 및 Iodine 의 효과 |
| 초록 | 본 연구에서는 Ru-MOCVD 반응기에서 기상반응물의 유동 및 반응현상을 상업용 소프트웨어인 Fluent를 사용한 CFD해석하고, 이를 기반으로 실험을 수행하여 wafer의 박막증착현상을 해석하였다. |
| 저자 | 정두환, 윤도영, 김재정 |
| 소속 | 광운대 |
| 키워드 | |
| 원문파일 | 초록 보기 |
