| 학회 | 한국재료학회 |
| 학술대회 | 2016년 가을 (11/16 ~ 11/18, 경주 현대호텔) |
| 권호 | 22권 2호 |
| 발표분야 | E. 환경/센서 재료 분과 |
| 제목 | Pressure Sensors: From micro to nano scale |
| 초록 | 압력센서는 동작 원리에 따라 전극의 압저항 효과 (piezo-resistive effect)를 이용하는 압저항 압력센서 (piezoresistive pressure sensor)와 두 전극 사이에 형성된 정전용량을 이용하는 정전용량식 압력센서 (capacitive pressure sensor)로 크게 2가지 형태로 구분된다. 본 발표에서는 상용화 관점에서 2가지 형태의 압력센서 장·단점을 비교하고, micro-electro mechanical system (MEMS) 기술에 기반을 둔 Si 물질 기반의 압력센서 제조 공정과 고온·고압의 극한 환경에서 동작 가능한 SiC 기반의 압력센서의 연구 동향 및 실험 결과를 발표하고자 한다. 끝으로 압력센서 민감도 특성 향상을 위해 활발히 연구되고 있는, 나노 기반의 그래핀 나노재료 복합체를 이용한 차세대 압력센서의 연구 동향과 실험결과 발표하고자 한다. |
| 저자 | 최경근, 이정윤 |
| 소속 | 포항공과대 |
| 키워드 | pressure sensor; capacitive; piezo-resistive; micron; nano <BR> |
