| 학회 | 한국화학공학회 |
| 학술대회 | 2001년 봄 (04/27 ~ 04/28, 연세대학교) |
| 권호 | 7권 1호, p.2142 |
| 발표분야 | 재료 |
| 제목 | Modified HVPE법을 이용한 GaN 증착공정의 열역학적 해석에 관한 연구 |
| 초록 | 본 연구는 화학양론적 연산방식(stoichiometric algorithm)을 이용하여 MOVPE법과 HVPE법의 장점을 이용한 MHVPE법의 TMGa, HCl, NH3, H2 반응계의 평형상태에 대한 열역학적 전산모사를 수행하였다. H2가 반응에 미치는 영향을 조사하기 위하여 반응계의 H2 mole fraction을 변화시켜가며 열역학적 전산모사를 수행하였으며 실험결과와 비교, 검토함으로써 최적의 공정조건을 도출하고자 하였다. |
| 저자 | 윤덕선, 이관석, 도창주, 여석기, 박진호 |
| 소속 | 영남대 |
| 키워드 | GaN; MHVPE; Thermodynamics |
| 원문파일 | 초록 보기 |
