| 학회 | 한국화학공학회 |
| 학술대회 | 2002년 봄 (04/26 ~ 04/27, 강원대학교) |
| 권호 | 8권 1호, p.2249 |
| 발표분야 | 재료 |
| 제목 | 저온 GaN buffer 층을 이용한 GaN 박막 성장에 관한 연구 |
| 초록 | 본 연구에서는 기존의 HVPE법을 개선한 modifed HVPE 반응 장치를 이용하여 면적이 10×10 ㎟인 사파이어 기판 위에 GaN을 증착시켰다. 사파이어 기판의 전처리 조건(질화처리, buffer 층 성장의 공정변수 등)을 변화시켜가며 성장시킨 GaN 박막의 특성을 비교 분석하였다. |
| 저자 | 윤덕선, 여석기, 도창주, 한승훈, 박진호 |
| 소속 | 영남대 |
| 키워드 | GaN; buffer layer growth; Modified HVPE; Nitridation |
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| 원문파일 | 초록 보기 |
