화학공학소재연구정보센터
학회 한국화학공학회
학술대회 2016년 가을 (10/19 ~ 10/21, 대전컨벤션센터)
권호 22권 2호, p.2379
발표분야 촉매 및 반응공학
제목 합성온도에 따른 알루미늄계 촉매의 표면형상과 NF3 가수분해반응에서의 활성평가
초록 지구온난화에 영향을 미치는 불화온실가스는 CO2에 비해 배출량은 적지만 지구온난화지수가 수천배에 달하기 때문에 규제대상 온실가스로 지정되었다. 불화온실가스 중 하나인 NF3는  LCD TV와 같은 전자제품 생산과정에서 에칭 및 세정용 가스로 널리 사용되고 있으며, 생산량과 소비량이 증가하는 추세이다. NF3는 공기 중으로 배출되기 전에 분해되어야하며, 현재 보고된 NF3의 분해 방법에는 여러 가지가 있지만 그 중 촉매분해법이 비교적 낮은 온도에서도 높은 분해효율을 기대할 수 있다. 따라서 높은 내구성과 효율을 가진 촉매 개발이 필요하다.  
본 연구에서는 알루미늄계 촉매를 온도별 건식법으로 합성하여 촉매의 표면형상 변화와 합성한 촉매를 NF3의 가수분해 반응에 적용시켜 표면형상에 따른 촉매활성을 관찰하고자 하였다. 반응 전/후의 촉매의 특성변화는 XRD, SEM, BET 분석등을 통해 확인하였다.
저자 이진욱1, 이태진1, 박창준1, 최원영1, 김민정1, 정용한1, 박노국1, 장원철2
소속 1영남대, 2코캣
키워드 고체산촉매
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