| 학회 |
한국재료학회 |
| 학술대회 |
2009년 봄 (05/21 ~ 05/22, 무주리조트) |
| 권호 |
15권 1호 |
| 발표분야 |
반도체재료 |
| 제목 |
Co가 도핑된 ZnO-CNT 복합체의 일산화질소 가스감지특성 연구 |
| 초록 |
NO 가스에 대한 감도와 선택성을 향상시키기 위해 ZnO와 탄소나노튜브를 PLD(pulsed laser deposition)방법을 이용하여 ZnO-CNT 복합체를 만들었다. PLD방식에 의해 ZnO물질은 5-10nm의 크기로 탄소나노튜브에 코팅되었다. ZnO-CNT 복합체는 ZnO 박막 보다 일산화질소(NO)가스에 대한 가스 감응 특성을 향상시켰다. 이는 탄소나노튜브가 부피 대 표면의 비가 크기 때문에 탄소나노튜브에 달라 붙는 ZnO물질의 표면비도 박막에 비해서 증가하기 때문이다. ZnO에 Co를 도핑하여 ZnO:Co-CNT 복합체를 만들었다. ZnO:Co 역시 탄소나노튜브에 5-10nm의 두께로 증착되었다. ZnO:Co-CNT 복합체의 조직의 구조적특성은 X-선 회절기, 주사현미경으로 조사하였고, Co 도핑의 양은 EDX로 정량분석하였다. NO가스에 대한 ZnO-CNT, ZnO:Co-CNT 복합체의 반응은 동작온도 200℃에서 가장 높은 감도를 보였다. |
| 저자 |
정훈철, 오동훈, 박성용, 안은성, 웬래훙, 김효진, 김도진
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| 소속 |
충남대 |
| 키워드 |
ZnO:Co gas sensor; carbon nanotube; ZnO:Co-CNT composite; NO gas sensor
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