학회 | 한국재료학회 |
학술대회 | 2005년 가을 (11/10 ~ 11/11, 한양대학교) |
권호 | 11권 2호 |
발표분야 | 전자재료 |
제목 | 분말소결법에 의해 제조한 Zr-V-Fe 게터합금의 수소흡수특성 |
초록 | 게터합금분말은 표면 활성화과정을 통하여 고진공 중의 잔류 가스를 흡수하여 진공도를 유지하는데 매우 중요한 소재이다. 이러한 게터는 증발형(EG : Evaporation Getter)과 비증발형(NEG : Non-Evaporation Getter)으로 분류된다. 증발형 게터는 게터 물질 자체가 증발하여 잔류가스를 흡수하기 때문에 쉽게 증발하기 쉬운 Ba계합금이 많이 사용되며, 비증발형은 표면 활성이 매우 큰 Zr계 합금이 주로 사용된다. 비증발형의 경우는 합금분말 표면의 산소등의 피막을 제거하여 금속표면으로 활성화하는 과정이 필수적이며, 활성화 표면이 넓을수록 게터특성인 잔류가스 흡수능이 좋아진다. 이러한 비증발형 Zr-V-Fe합금분말은 진공용해에 의한 합금화-수소중 가열에 의한 수소화물 제조-분쇄-탈수소공정으로 제조되는데, 이는 균일한 합금분말을 얻기 위한 공정이다. 따라서 본 연구에서는 각각의 원료분말을 혼합하여 1276~1573K에서 반응소결법 단일 공정으로 제조한 분말과 상기의 합금화분말의 특성을 비교하였다. 소결온도가 저하할수록 미반응 V가 남아 있으며, 생성상은 hcp-Zr고용체와 Cubic-Zr(V, Fe)2 화합물상이 석출하며, bcc-Zr고용체의 공석반응이 1050K이므로 다른 Cubic형 화합물상이 생하여 three phase로 구성되었다. 일반적으로상용인 ST707합금이나 동일조성인 용해합금은 hcp-Zr고용체와 Cubic-Zr(V, Fe)2 화합물상으로 구성되어 있는것과 구별된다. 따라서 이러한 석출상의 차이에 따른 수소 흡수 특성을 평가 하여 비교 하였다. |
저자 | 박제신, 서창열, 우샛별, 김원백 |
소속 | 한국지질자원(연) |
키워드 | ZrVFe; Hydrogen sorption; Activation; Non-Evaporation Getter(NEG); |