| 학회 | 한국재료학회 |
| 학술대회 | 2007년 봄 (05/10 ~ 05/11, 무주리조트) |
| 권호 | 13권 1호 |
| 발표분야 | 전자재료 |
| 제목 | Polymer Electrode and Micro-Patterning using PEDOT and its Organic Display Applications |
| 초록 | 자기 조립의 한 방식인 기상 중합 방법을 이용하여 독특한 전기적, 광학적, 물리적 특성을 가지는 전도성 고분자인 PEDOT 박막을 제조하였다. 기상 중합 방법으로 제조된 전도성 PEDOT박막은 Plastic 기판위에 증착하였으며 간단한 중합 공정과 대면적에 균일한 박막을 얻을 수 있다. 또한 전도성 PEDOT박막의 선택적 증착은 산화제를 Photo-lithography 기술에 의해 UV 빛과 반응시킴으로써 20um까지 패터닝된 전도성 PEDOT박막을 제조할 수 있었다. 이렇게 제조된 전도성 PEDOT박막은 30~200nm 까지 두께를 조절할 수 있으며 높은 전도도 (3500S/cm)와 우수한 투과도 (85%이상), 그리고 대기중, 열적으로 안정한 특성을 보였다. 그리고 또한 플라즈마 중합법을 이용하여 PEDOT박막을 제조하였고 O2 플라즈마를 사용하여 선택적 미세 패턴 또는 박막의 에칭을 쉽게 할 수 있었다. 이렇게 새로운 공정으로 제조된 전도성 고분자의 박막 및 패터닝/에칭 기술은 OLED와 touch screen과 같은 Opto-electronic Device의 film 및 OTFT등에 유용하게 이용될 수 있다. |
| 저자 | 이정현, 김태욱, 김재택, 김진열 |
| 소속 | 국민대 |
| 키워드 | polymer; PEDOT; patterning; plasma |
