| 초록 |
N2O는 반도체, 의료용 마취제, 식품첨가제로써 사용이 지속 증가하는 가스이다.N2O는 질산암모늄을 원재료로 사용하여 열분해 공정을 거쳐 N2O를 합성하는 과정에서 질산과 암모니아가 미량 포함될수 있으며, 증류공정을 통해 대부분의 불순물들은 정제가 가능하나 반도체에서는 ppb 수준의 불순물 관리가 필요하며, 의료용과 식품용은 인체에 적용되기에 고순도 정제 과정이 필요하다.본 연구에서는 N2O 내 불순물 정제 및 양산화하여 고순도의 결과물을 얻어내고, 불순물중 반도체 공정에 영향을 미치는 N2, NH3, H2O, O2 등의 고효율 저비용의 정제기술 개발과 고순도 양산 기술의 결과물을 얻어내고, 고순도 가스 정제 기술 방법을 연구하고 제시하고자 한다.Acknowledgment본 사업은 중소벤처기업부에서 지원하는 중소기업기술정보진흥원의 재원으로 수행된 2019년도 창업성장기술개발사업 혁신형창업과제의 연구수행으로 인한 결과물임 (S2767401)Keywords : N2O, impurity, Purification, Pilot Scale, SemiConductor |
