| 초록 |
정보화 사회가 고도로 발전함에 따라, 각종 정보화 기기에 내장된 반도체 소자의 고속화, 고집적화가 진행되어 왔다. 최근, 디바이스의 선폭이 축소됨에 따라, gate delay는 감소하지만 RC (Resistance Capacitance) delay가 급격히 증가하기 때문에 반도체의 고집적화, 고속화를 달성하기 위해서는 RC delay를 최소화 할수 있는 소자의 구성과 재료를 찾는 것이 매우 중요한 과제로 부각되고 있다. 유전상수 2.4이하의 초 저유전막의 달성을 위해서는 박막내에 나노미터 수준의 공기기공(k~1)을 도입하는 것이 필요하기 때문에, 박막내에 안정적인 기공을 형성할수 있는 Porogen (Pore generator)들이 연구되고 있다. 본 연구에서는 나노입자형태의 cyclic supramolecule을 porogen으로 사용하여, 다공성 박막을 제조하는 연구에 대해서 소개하고자한다. 여러가지 cyclic supramolecule을 이용하여 다공성박막을 제조하고, 저유전막으로 성능을 알아보기 위해서 박막의 전기적, 기계적 특성분석을 수행하여 보았다. |
