| 초록 |
P형 결정질 실리콘 태양전지 제작과정에서 p-n 접합을 형성하는 확산 공정은 일반적으로 POCl3을 diffusion source로 이용하여 확산 로에서 진행된다. 확산공정은 도핑 소스를 공급하는 pre-deposition과 고온에서 확산을 진행하는 drive-in 단계로 구성된다. 본 연구에서는 pre-deposition단계에서 주입되는 O2와 POCl3 가스 유량 을 변화시켜 형성된 에미터의 특성 변화를 관찰하였다. 일반적으로 에미터 층에서 일어나는 재결합에 영향을 주는 물리적인 요소로는 표면 재결합과 벌크에서 발생되는 재결합이 있다. POCl3의 주입량 증가 시 캐리어의 라이프타임이 감소하였으며, O2를 증가시켰을 때는 라이프타임이 증가하였다. 이는 결정질 실리콘 기판 표면에서의 active phosphorus이온과 inactive phosphorus이온의 비율이 변했기 때문이다. 이러한 특성 변화를 분석하기 위해 면 저항은 4-point probe, PSG의 두께는 ellipsometry, PSG의 조성분석은 FTIR, 반송자 수명과 에미터 포화전류는 QSSPC, active phosphorus 농도는 ECV, total phosphorus 농도 는 SIMS 측정을 통해서 확인 하였다. |
