| 학회 |
한국재료학회 |
| 학술대회 |
2019년 가을 (10/30 ~ 11/01, 삼척 쏠비치 호텔&리조트) |
| 권호 |
25권 2호 |
| 발표분야 |
C. 에너지 재료 분과 |
| 제목 |
보론 에미터 농도에 따른 n-Si-Al2O3 인터페이스에서의 재결합 |
| 초록 |
실리콘 태양전지의 효율을 높이기 위해서는 전극과 접촉하는 표면의 도핑 농도가 높고 passivation 영역 부분에서는 표면 도핑 농도가 낮은 선택적 에미터가 필수적이다. 이 때 태양전지에서 필수적인 부분인 passivation 막의 특성이 보론의 표면 농도에 따라 어떻게 달라지는지 분석을 해보았다. 이를 위해서 Spin-on doping (SOD)를 이용해서 단결정 n-type의 실리콘에 보론 에미터를 형성한 후에 rapid thermal processor (RTP)를 이용해서 첫 번째 열처리를 해주었다. 그 후 다양한 표면 보론 도핑 농도를 구현하기 위해서 퍼니스를 통해 시간과 온도에 변화를 주면서 추가적인 열처리를 진행하였다. 이 때 변화한 도핑 프로파일 확인을 위해 SIMS 분석을 했다. 또한 passivation 특성 분석을 위해 atomic layer deposition (ALD)로 Al2O3 10nm 증착 한 후 QSSPC를 통해 특성을 분석해보았다 |
| 저자 |
김진솔, 최동진, 강동균, 박현정, 배수현, 강윤묵, 이해석, 김동환
|
| 소속 |
고려대 |
| 키워드 |
<P>실리콘 태양전지; 보론 에미터</P>
|
| E-Mail |
|
