| 학회 | 한국재료학회 |
| 학술대회 | 2018년 봄 (05/16 ~ 05/18, 삼척 쏠비치 호텔&리조트) |
| 권호 | 24권 1호 |
| 발표분야 | G. 나노/박막 재료 분과 |
| 제목 | Filtered arc ion plating을 이용한 경사기능성 Ti-Al-Si-N-O 박막의 제작 및 기계적 특성에 관한 연구 |
| 초록 | TiN 박막은 높은 경도와 우수한 기계적 특성을 바탕으로 절삭 및 가공용 공구 및 고속도강에 널리 이용되어 왔다. 하지만 모재의 강도와 고속 공정의 도입에 따라 고경도, 내마모, 내산화 특성 등 향상된 물성의 박막 개발이 요구되고 있다. 본 연구에서는 Ti/TiN, TiAlN+Ti, TiAlSiNO로 구성된 경사기능성 박막을 Filtered Arc ion plating을 이용하여 제작하였으며, Si의 함량에 따른 미세구조 및 기계적 특성에 관하여 연구하였다. X-ray photoelectron spctroscopy(XPS) 및 X-ray diffractometer(XRD)를 이용하여 물질의 조성과 화학적 결합상태 및 결정성을 확인하였다. 또한 Nano-indentation 및 Scratch test를 통해 박막의 경도, Young’s modulus 및 Critical load를 측정하였다. |
| 저자 | 이명섭, 정창욱, 김치호, 김양도 |
| 소속 | 부산대 |
| 키워드 | <P>Ti-Al-Si-N-O; filtered arc ion plating; hardness; adhesion</P> |
