| 학회 | 한국재료학회 |
| 학술대회 | 2005년 봄 (05/26 ~ 05/27, 무주리조트) |
| 권호 | 11권 1호 |
| 발표분야 | 구조재료 |
| 제목 | Hf 조성변화에 따른 Fe-Hf-N 자성박막의 특성 |
| 초록 | Fe-TM-N계와 Fe-TM-C계 박막은 TM, N, C 등의 원소가 소량 첨가되므로써 우수한 연자기 박막특성을 나타낸다. 특히, Fe를 TM으로 치환한 자성박막의 미세조직의 변화 및 제어와 열처리 조건 변화에 따른 고포화 자속밀도에 관한 연구가 진행되고 있다. 이는 비정질 연자성 박막에 결정자기 이방성을 제어하거나, 제조 조건에 따른 박막두께의 제어로서 연자기 성능이 우수한 박막 제작에 있다. 본 연구에서는 N2 반응성 RF sputtering 방법으로 Ar+N2 분위기에서 Hf 양을 조절하여 Fe-Hf-N 박막을 제작하였다. 이를 위하여 박막 시편은 특수 제작된 Fe (99.99%) 타겟을 사용하고, Hf의 양을 조절하여 조성 변화를 주었다. 기판은 12×12㎜ 크기 (001)면인 Si 단결정 기판과 Corning glass 7059 기판을 사용하여 증착 시간의 변화에 따라 두께를 최대 1.5㎛로 하여 증착 하였다. 초미세 결정립을 갖는 연자성 박막을 제조하기 위해 10-3 torr 진공에서 380℃로 30분간 열처리하였다. RF sputtering 시간의 증가에 따라서 박막의 두께가 증가 하였다. 박막의 두께에 따른 보자력은 초기 급격히 증가하였고 이후 큰 변화를 나타내지 않았다. 실효 투자율 역시 증가하는 경향을 보였다. 이들 박막의 미세조직변화는 TEM과 XRD 분석을 통하여 관찰 하였으며, 관찰 결과 Fe-Hf-N 박막에서의 자기적 성질의 변화는 미세 α-Fe 결정 성장에 기인한 것으로 사료된다. 참 고 문 헌 1. K.H. Kim, H.W. Choi, S.R. Kim, K.Y. Kim, S.H. Han, and H.J. Kim, IEEE Trans. Magn., 36(5), 2656(2000). 2. Akihiro Makino and Yasuo Hayakawa, IEEE Trans. Magn., 31(6), 3874(1995). 3. Z.S.Zhang, F.Pan, Thin Solid Films, 375(1998). |
| 저자 | 맹기호, 이진혁, 강계명, 최종운, 이명호 |
| 소속 | 서울산업대 |
| 키워드 | Fe-Hf-N; magnetic thin film; coercivity |
