| 학회 | 한국재료학회 |
| 학술대회 | 2017년 가을 (11/15 ~ 11/17, 경주 현대호텔) |
| 권호 | 23권 2호 |
| 발표분야 | G. 나노/박막 재료 분과 |
| 제목 | UV 경화 나노 임프린트 리소그래피를 이용한 Al2O3 나노-마이크로 구조체 형성 |
| 초록 | Al2O3는 고강도, 고굴절, 좋은 화학적 안정성 및 전기 절연성을 갖는다. 다양한 장점을 갖는 Al2O3의 재료적 특성을 이용하여 LED, ReRAM의 active layer, passivation layer 등에 사용하려고 노력한다. 이때 Al2O3 나노 파티클을 이용하여 UV 경화 나노 임프린트 리소그래피를 이용하여 구조체를 만들어 소자들의 효율을 증가 시킬 수 있을 것으로 예상된다. 나노 임프린트 리소그래피는 차세대 리소그래피이다. 이 공정은 간단하고 빠르며 대면적에 저비용으로 패터닝을 할 수 있는 방법이다. 또한 다양한 용액을 사용하여 구조체를 형성 할 수 있으며 다양한 기판에 패터닝을 할 수 있다는 장점을 가지고 있다. Al2O3나노 파티클을 이용한 구조체를 조사하였다. Al2O3 나노 마이크로 구조체들을 나노 주사형 전자 형미경을 통해서 Al2O3나노 입자를 이용한 다양한 나노 마이크로 구조체들이 잘 형성되었음을 확인할 수 있었다. 또한 Al2O3의 열처리에 따른 상변화와 결정성을 XRD를 이용하여 조사하고, 강도를 나노 인덴터를 이용하여 측정하였다. Al2O3의 고굴절 특성을 알아보기 위하여 조성에 따른 굴절률을 측정하였다. 마지막으로 가장 중요한 다양한 Al2O3 나노 마이크로 구조체들의 광특성을 조사하기 위해서 UV – vis 분광기를 이용하여 각 구조체에 따른 투과도, 산란도, 반사도를 조사하였다. |
| 저자 | Jaemin Park, Young Hoon Sung, Daihong Huh, Soomin Son, Wonjoong Kim, Heon Lee |
| 소속 | Korea Univ. |
| 키워드 | Nanoimprint; Al<SUB>2</SUB>O<SUB>3</SUB>; nano-micro structure |
