| 학회 |
한국재료학회 |
| 학술대회 |
2011년 봄 (05/26 ~ 05/27, 제주 휘닉스 아일랜드) |
| 권호 |
17권 1호 |
| 발표분야 |
C. Energy and the Environment Technology(에너지 및 환경재료) |
| 제목 |
Sputtering gas에 따른 Cadmium tin oxide 박막의 특성 변화 분석 |
| 초록 |
CdTe/CdS 이종접합 태양전지는 glass를 기판으로 하는 superstrate 구조로써 TCO(Transparent conducting oxide)를 전면전극으로 사용 한다. glass에 TCO를 증착 한 후 Close-spaced subimation (CSS)증착법으로 CdTe 증착할 시 600℃이상의 고온 공정이 수반된다. 그러므로 CdTe/CdS 이종접합 태양전지용 TCO는 열적으로 안정한 재료를 사용해야한다. 이러한 이유로 FTO(Fluorine doped tin oxide) 박막을 전면 전극 재료로써 많이 사용하나 전기적 특성이 우수하지 않다는 단점을 가진다. 그래서 FTO 박막의 면저항을 낮추기 위해 박막을 두껍게 해야 하는 문제가 생긴다. 본 연구에서는 상기의 문제 때문에 전기적 특성과 광학적 특성이 우수하며, 열적으로 안정한 Cadmium tin oxide(CTO)를 전면 전극 재료로 사용하였다. CTO 박막은 RF-magnetron sputter를 이용하여 산소 도핑 량을 변화시켜 증착하고, Rapid thermal process(RTP)를 이용하여 열처리 한 뒤 박막의 특성을 비교, 분석 하였다. Sputtering gas는 pure Ar, Ar+O2(O2 20%), Ar+O2(O2 50%)을 사용하였고, 각 sample을 600℃의 Ar분위기에서 20분씩 열처리 하였다. 실험 결과, 열처리 한 CTO박막은 50cm2/Vs이상의 높은 홀 이동도를 가지며, 4X10-4Ωcm정도의 낮은 비저항을 가져 상용화된 FTO 박막보다 우수한 전기적 특성을 가졌다. |
| 저자 |
최수영, 이승훈, 탁성주, 천승주, 김성탁, 배수현, 김동환
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| 소속 |
고려대 |
| 키워드 |
Cadmium tin oxide; R.F. magnetron sputter; Oxygen; Rapid thermal process
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