| 학회 | 한국공업화학회 |
| 학술대회 | 2015년 봄 (04/29 ~ 05/01, BEXCO (부산)) |
| 권호 | 19권 1호 |
| 발표분야 | 고분자_포스터 |
| 제목 | 폴리하이드록시이미드 기반 감광성 폴리이미드 패터닝 |
| 초록 | 폴리이미드는 고내열성, 고강도, 고탄성율, 내방사선성, 내약품성 등의 우수한 성능을 나타내는 고성능 재료이다. 감광성 폴리이미드는 기존의 폴리이미드에 감광성을 부여함으로써 추가의 포토레지스트 층을 제거하여 패터닝 공정을 대폭 감소시킬 수 있는 장점이 있다. 페놀기를 포함하는 단량체에 기반한 알카리 용해성 폴리이미드는 2,3-디하이드로피란(DHP)과 반응하여 알카리 용해성이 억제된 산민감형 THP기를 포함하는 폴리이미드로 전환 될 수 있다. 본 발표에서는 산민감형 THP기를 포함하는 다양한 구조의 폴리이미드와 광산발생제를 조합한 포지티브형 감광성 폴리이미드의 광패터닝 특성을 고찰 할 것이다. |
| 저자 | 도선정, 김진수, 원종찬, 가재원, 김윤호 |
| 소속 | 한국화학(연) |
| 키워드 | 폴리이미드; 감광성 폴리이미드 |
