| 학회 | 한국재료학회 |
| 학술대회 | 2013년 가을 (11/06 ~ 11/08, 제주롯데호텔) |
| 권호 | 19권 2호 |
| 발표분야 | F. 광기능/디스플레이 재료(Optical Functional and Display Materials) |
| 제목 | LED용 Trimethyl-gallium 회수/정제 후 precursor 재이용 연속 시스템 개발 |
| 초록 | Trimethylgallium(TMGa, Ga(CH3)3)은 LED 및 LD 혹은 solar cell 또는 electric power device 등을 제조하는데 필수 원료물질인 metal organic(MO) precursor이다. 현재 LED 산업이 발전함에 따라 TMGa의 수요량이 증가하고 있으며, 이에 따라 batch type의 회수/정제 재이용 시스템의 개발이 이루어졌다. 하지만 Batch type의 TMGa 회수 시스템은 TMGa의 공기 중 발화성 특성 때문에 N2 Glove box 내에서 진행되어야 하고 정제 및 샘플링 시에는 회수된 TMGa를 이동해야하는 단점이 있다. 이는 TMGa의 누출 시 폭발의 위험이 있으며, 약간의 산소가 TMGa와 접촉하면 산화물이 생성되기 때문에 precursor로써의 기능을 잃을 수 있다. 본 연구에서는 Dual type의 glove box 연속시스템을 개발하였다. batch type과 달리 Dual type의 glove box 내부에서 회수/정제, 분석 샘플링, 분석 전처리까지 외부로 꺼내는 작업 없이 N2 분위기에서 연속으로 처리할 수 있는 시스템이다. 연결된 모든 line은 N2 분위기로 조성하여 산소의 영향을 최대한 줄이도록 노력하였다. 연속공정을 이용하여 회수/정제된 TMGa는 NMR 분석으로 산화 및 기타 유기 불순물이 거의 없음을 확인하였으며, ICP-MS, ICP-AES 분석을 이용하여 8N(99.999999%)의 고 순도 TMGa임을 확인하였다. |
| 저자 | 윤재식1, 양재열2, 오병성1 |
| 소속 | 1한국기초과학지원(연), 2충남대 |
| 키워드 | TMGa; precursor; reuse; refinement; LED |
