| 초록 |
최근 센서 산업은 유해 가스에 대한 실시간 환경모니터링 및 누출경보, 그리고 바이오 마커로써의 질병 진단 등으로 영역이 확장되고 있으며, 장치의 소형화, 고집적화와 더불어 미세 농도에서도 고감도 특성을 갖는 센서의 구현이 요구되고 있다. 이에 따라 센서 재료를 나노입자(0-D), 나노튜브 또는 나노선(1-D), 그리고 나노시트(2-D) 구조로 성장시켜 감응 특성을 향상시키는 연구가 지속되고 있다. 특히, 부피 대비 큰 표면적 비를 갖는 1차원 나노구조의 반도체 산화물 가스 센서는 고감응성, 안정성 그리고 재현성 등에서 매력적인 가스 센서 재료이다. 이산화티타늄(TiO2)은 열역학적으로 안정하면서 무독성 재료로 알려져 전통적으로 도료 및 소재보호용으로 널리 사용되어왔으며, 최근에는 큰 밴드갭을 가지는 이산화티타늄의 독특한 물리적 특성을 활용한 태양전지와 가스 센서 소자의 재료로 각광받고 있다. 이에 따라 최근 1차원 구조를 갖는 TiO2 구조에 대한 연구가 지속적으로 시도되고 있으며 sol-gel법, 화학처리법 등 습식 공정을 이용하여 나노선, 나노튜브를 성장시킨 연구사례가 보고되고 있다. 본 연구에서는 기상 증착법을 이용하여 네트워킹 구조의 TiO2 나노선 센서를 제작하였고 여러 가스에 대한 감응특성을 조사하였다. |
