| 학회 | 한국고분자학회 |
| 학술대회 | 2021년 봄 (04/07 ~ 04/09, 대전컨벤션센터) |
| 권호 | 46권 1호 |
| 발표분야 | 분자전자 부문위원회 Ⅰ |
| 제목 | Salt-assisted CVD방법을 이용한 단층 고결정성 WX2 (X= S, Se) 성장 연구 |
| 초록 | 이차원 전이금속 칼코겐화물은 우수하며 흥미로운 광학적, 전기적 그리고 물리적인 특성을 보이는 소재이며, 더 나아가 차세대 반도체 소자로의 응용으로 큰 주목을 받고 있다. 그 중, WX2 (X= S, Se)는 준금속의 특성을 가지는 반도체 소재이며 화학기상증착법을 통해 대면적으로 합성하고 특성을 알아보았다. 그리고 합성하기 위해 gas의 종류 , 염의 비율, 타켓 기판과 전구체 사이의 거리 등 여러 가지 변인 요인을 고려하여 실험을 진행했다. 대면 성장 시킨 WSe2, WS2를 광학현미경, raman분광법, AFM을 이용하여 광학적 요소를 분석했다. 또한 트랜지스터 제작을 통한 전기적 특성을 분석해 보았다. |
| 저자 | 임시헌1, 주현규1, 고재권1, 육연지1, 이재원2, 김현호1 |
| 소속 | 1금오공과대, 2충남대 |
| 키워드 | WSe2; WS2; CVD; TMCs |
